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蓝光LEDGaN刻蚀掩膜用SiO2还是光刻胶

请教批量生产LED企业中,GaN刻蚀掩膜用SiO2还是用光刻胶,用光刻胶做掩膜的稳定性如何?

2010-02-03 13:20:06  -  求助帖  -  summary  -  LED/照明设计 775次浏览 - 0次回复

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